Oprema za proizvodnju i kontrolu poluvodiča nameće izuzetno stroge zahtjeve za referencu kretanja. Kao nosač koji se kreće u jezgri koji podržava linearne motore, povratnu informaciju optičke rešetke i precizne klizače, dimenzionalna stabilnost grede, dinamička krutost, čistoća i geometrijska točnost izravno utječu na prinose u inspekciji pločica, mikro-nano strojnoj obradi i pomoćnim procesima litografije. Poluvodička oprema pokriva širok raspon vrsta. Od vizualnog pregleda vafera, stanica sonde i laserske mikro-strojne obrade do optičkih mjeriteljskih alata, raspored putovanja, ubrzanje i čisti prostor komore uvelike variraju. Standardne grede teško mogu zadovoljiti ekskluzivne konstrukcijske i montažne zahtjeve pojedinih modela opreme. S godinama iskustva u istraživanju i razvoju i proizvodnji ultra-preciznih granitnih komponenti, UNPARALLELED Group pruža usluge punog-ciklusa granitnih greda za industriju poluvodiča. Isporučuje prilagođene kamene grede prilagođene posebnim radnim uvjetima poluvodičke opreme, simulaciju sheme pokrivanja, odabir kamenog materijala, preciznu strojnu obradu i prilagodbu čiste montaže.
1. Pre-simulacija projekta: više-fizičko modeliranje skrojeno za ekskluzivne radne uvjete poluvodiča
Poluvodički alati razlikuju se od uobičajenih portalnih alatnih strojeva. Mnogi imaju kompaktan prostor u komori, a grede moraju uravnotežiti malu težinu i visoku krutost uz zadržavanje prostora za vakuumske cjevovode, kanale za ožičenje i točke ugradnje senzora. Standardne grede ne mogu zadovoljiti sve ove integracijske zahtjeve. U početnoj fazi prilagođenih projekata, UNPARALLELED provodi više-fizičku simulaciju na temelju mehaničkih crteža, parametara kretanja, distribucije topline i čistog okruženja komore. S jedne strane, simulira izmjenična inercijska opterećenja koja se generiraju tijekom-brzog recipročnog kretanja klizača kako bi se predvidio dinamički otklon greda i optimizirao-presjek i raspored šupljina, poboljšavajući otpor na savijanje i torziju uz kontrolu vlastite-težine. S druge strane, toplinska simulacija procjenjuje lokalni porast temperature izazvan kontinuiranim stvaranjem topline iz motora i optičkih komponenti kako bi se izbjegao referentni pomak linearnih ljestvica. U međuvremenu, planira zareze za izbjegavanje, rupe za usmjeravanje i položaje ugrađenih senzora u skladu s prostornim ograničenjima unutar komora opreme kako bi se spriječile mehaničke smetnje u kasnijim fazama. Za-opremu za inspekciju velikog{11}}formata, UNPARALLELED također procjenjuje monolitne i precizno{12}}sastavljene strukturne opcije, uspoređujući čistoću i-dugoročnu stabilnost kako bi preporučio najbolju strukturu za klijentov model stroja.
2. Odabir sirovina granita visoke -čistoće: Zadovoljite zahtjeve poluvodiča niske emisije čestica i visoke stabilnosti
Unutrašnjost poluvodičke opreme je čist okoliš. Komponentni materijali moraju kontrolirati stvaranje prašine i otpuštanje slabo hlapljivih organskih spojeva kako bi se izbjegla kontaminacija pločica i optičkih elemenata. Obični kamen može sadržavati labava mineralna zrnca i lako rasipati prah nakon strojne obrade, što ga čini neprikladnim za čiste komore. Ciljajući na poluvodičke primjene, UNPARALLELED odabire gusti crni granit visoke -čistoće, strogo kontrolirajući unutarnje mikropukotine i labave mineralne inkluzije kako bi se smanjio rizik od raspadanja čestica. Nakon što neobrađeni kamen stigne u tvornicu, uz standardna mehanička ispitivanja, provodi se pregled uzorkovanja za čistoću kako bi se osigurala ujednačena tekstura kamena i stabilan koeficijent toplinskog širenja. U osnovi izbjegava lokalnu deformaciju uzrokovanu nejednakim svojstvima materijala i smanjuje emisiju prašine kako bi se prilagodio čistim komorama poluvodičke opreme klase 1000 ili više. Za modele koji zahtijevaju anti-statičku izvedbu, posebna obrada površine može se uskladiti tijekom strojne obrade kako bi se ispunili anti-statički zahtjevi poluvodičkih alata.
3. Ultra-precizna obrada i ugrađena prilagodba: Prilagodite se preciznom modularnom sklopu poluvodičke opreme
Poluvodičke grede su gusto naseljene rupama za pričvršćivanje linearnih motora, linearnih ljestvica, optičkih baza i graničnih senzora. Položaj, dubina, okomitost i referenca navoja svake rupe zahtijevaju ultra-visoku preciznost. Svako odstupanje položaja rupe dovest će do stresa sklopa i skrivene deformacije tijekom instalacije modula. UNPARALLELED dizajnira prilagođene sheme ugrađenih rukava prema nacrtima sastavnice proizvoda klijenta. Za zone pod različitim razinama opterećenja odabiru se različiti rukavci i posebni sustavi lijepljenja. Raspored svih rupa provjerava se simulacijom naprezanja kako bi se izbjegla koncentracija naprezanja uzrokovana gusto raspoređenim rupama i spriječila lokalna deformacija kamena kada su vijci zategnuti. Referentne površine greda su nano-preklopljene u-radionici izoliranoj od vibracija-stalne temperature kako bi se strogo kontrolirala ravnost, paralelnost i ravnost. Za razliku od uobičajenih komponenti alatnih strojeva, rubovi poluvodičkih greda su pasivizirani kako bi se smanjilo nakupljanje ostataka. Nakon strojne obrade, poseban proces čistog pranja uklanja prašinu od lappinga i zaostale nečistoće. Geometrijske tolerancije gotovih proizvoda kontroliraju se prema mjeriteljskim ocjenama za poluvodičku opremu, osiguravajući kontinuiranu i stabilnu referencu za montažu vodilica i linearnih ljestvica i smanjujući radno opterećenje pri puštanju u pogon tijekom cjelokupne montaže stroja.
4. Čist proces i inspekcija tvornice: Zadovoljite standarde isporuke poluvodiča
Isporuka poluvodičkih komponenti razlikuje se od običnih mehaničkih dijelova. Osim inspekcije geometrijske preciznosti, potrebna je kontrola čistoće i sljedivi mjeriteljski podaci. Nakon završne obrade, prilagođene granitne grede tvrtke UNPARALLELED prolaze kroz višestruke postupke čišćenja. Ponovno -mjerenje konačnih dimenzija dovršava se neovisno na čistim radnim stanicama. Svi instrumenti za inspekciju kalibrirani su CNAS sljedivosti. Osigurano je potpuno izvješće o ispitivanju, uključujući ravnost, ravnost, učitane podatke o deformaciji i zapise o provjeri vizualne čistoće za provjeru cijelog-stroja klijenta. Za sklopljene grede koje se upotrebljavaju u opremi za-provjeru poluvodiča dugog putovanja, spajanje se također dovršava pod konstantnom temperaturom. Odabrano je ljepilo niske-skupljanja, niske{11}}isparljivosti. Nakon stvrdnjavanja, greda se ponovno u cijelosti preklopi. Stabilnost veznih zona strogo se provjerava kako bi se zajamčilo da hlapljive tvari neće kontaminirati komoru. Ambalaža bez-prašine usvojena je za otpremu kako bi se spriječilo sekundarno onečišćenje tijekom transporta.
5. Dugoročno -jamstvo stabilnosti: prilagodite dugom servisnom ciklusu poluvodičke opreme
Oprema linije za proizvodnju poluvodiča radi bez prekida-cijelu godinu. Manji porast temperature nastavlja se unutar strojeva, a klizači se pomiču visokom frekvencijom. Grede moraju održavati geometrijsku točnost godinama ili čak više od desetljeća. Metalne grede sklone su deformaciji zbog postupnog oslobađanja zaostalog naprezanja. Nasuprot tome, prilagođene granitne grede nemaju naprezanje lijevanja u sirovom materijalu. Nakon rezanja i bušenja, podvrgavaju se dugotrajnom-stalnom-temperaturnom starenju kako bi se u potpunosti oslobodili-preostalog naprezanja uzrokovanog strojnom obradom. Geometrijska točnost vrlo sporo opada tijekom rada, smanjujući vrijeme zastoja opreme radi rastavljanja i kalibracije i osiguravajući stabilan rad proizvodne linije. UNPARALLELED je isporučio prilagođene granitne grede za mnoge proizvođače poluvodičke opreme i institucije za optičku inspekciju. Proizvodi se primjenjuju u inspekciji površine vafera, optičkom mjeriteljstvu, laserskom podrezivanju i sondnim platformama. Planovi isporuke mogu se fleksibilno prilagoditi prema fazama istraživanja i razvoja prototipa, probne-serijske proizvodnje i masovne proizvodnje.
Zaključak
Prilagođene granitne grede za poluvodičku opremu nisu samo kameni dijelovi obrađeni prema crtežima. Cijeli prilagođeni inženjering pokriva odabir materijala, multi-fizičku simulaciju, strukturnu optimizaciju, precizno ugrađivanje i čistu strojnu obradu, prilagođenu posebnim zahtjevima poluvodičke opreme uključujući čisto okruženje, mikro-nano preciznost i dugo-stabilan rad. S potpunom proizvodnom sposobnošću za ultra-precizne granitne komponente, UNPARALLELED Group duboko se povezuje sa zahtjevima za istraživanje i razvoj i masovnu proizvodnju poluvodičke opreme, pružajući prilagođene granitne grede visokih-performansi za razne preglede pločica, optičko mjeriteljstvo i mikro-nano alate za obradu i podržavajući stabilnost referentnog kretanja za vrhunske-poluvodiče precizna oprema.